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Zygo Verifire HD – Neues Fizeau-Interferometer mit höherer lateraler Auflösung

ermessung höher frequenter Strukturen

Der Einsatzbereich von Laser­in­ter­fe­rometern war bisher auf die Ana­lyse langwelliger Oberflächen­struk­­turen begrenzt. Die Erfassung kurz­­welliger Strukturen bis hin zu Rauhheitsmessungen waren die Do­mä­ne der Coherence Scanning Inter­ferometer (CSI) wie z. B. der New­View Weisslicht-Interferometer. Es existierte also eine Lücke bei der Er­fassung der vollständigen Ober­flä­chen­­information.

Der neue Verifire HD schließt nun diese Lücke, indem er die Vermessung höher frequenter Strukturen, den sogenannten Mid-Spatial Frequencies (siehe Bild), erlaubt. Erreicht wird dies durch eine verbesserte optische Abbildung und Kameras mit größerer Pixelanzahl. Zusätzlich können die Verfire HD Geräte mit einer Option zur Reduzierung kohärenter Artefakte ausgestattet werden. Das macht sie zum perfekten Messwerkzeug für deterministische Polierprozesse.

Einem Einsatz im produktionsnahen Umfeld steht ebenfalls nichts im Wege. Die schwingungsrobuste Zygo QPSI-Technologie zur Phasenmessung ist tolerant gegenüber den typi­schen Vibrationserscheinungen im Fer­ti­gungs­bereich.

Eine beeindruckende Demonstration des Verfahrens können Sie sich hier an­sehen:
https://youtu.be/QT_9RU180Wk

Zusammen mit den umfangreichen Software-Tools zur Beugungs- und PSD-Analyse der Zygo Mess- und Analysesoftware MX steht dem An­wender ein neues, mächtiges Werk­zeug für die Oberflächenanalyse zur Verfügung.

Torsten Glaschke
06151 8806-51
glaschke@zygolot.de


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